DeConvEELS

DeConvEELSはEELS (Electron Energy Loss Spectrum; 電子線エネルギー損失スペクトル)をLow loss領域または Zero loss領域のスペクトルを用いてデコンボルーション(Deconvolution)します。Zero lossの拡がりによるスペクトルの ぼけを減少しますので、エネルギー分解能が向上します。
DeConvEELSではデコンボルーションの手法として最大エントロピー法(MEM: Maximum Entropy Method) あるいはRichardson-Lucy法を使用することができます。

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